“晶”益求精-晶圆表面缺陷在线检测与分析系统

数媒竞赛获奖作品信息及简介
作品名称“晶”益求精-晶圆表面缺陷在线检测与分析系统
参赛院校北京工业大学
指导老师于乃功
团队成员李洪政、徐乔、王阳
奖项等级一等奖
竞赛年份2022

作品描述:本作品是采用机器视觉针对半导体行业中的晶圆表面进行缺陷检测,以提升半导体产品良率,提升企业生产速度。该方法首先利用工业线阵相机对整个晶圆进行扫描,获取完整晶圆原始图像;其次提取晶圆原始图像的灰度特征,对晶圆图像位姿进行校正;再次利用单样本晶粒图像和完整晶圆图像进行多模板匹配,并利用Kmeans和非线性差值方法筛选出最佳匹配坐标,完成对晶粒样本的分割;最后对分割样本进行图像增强,并对增强图像遍历提取外轮廓特征和轮廓内灰度特征,分别生成一维数组,进行Kmeans和层次聚类分析,筛选出离散样本,将离散样本标记为缺陷样本,生成缺陷晶圆图,完成晶圆缺陷检测。该方法能够应用到晶圆生产制造过程中,代替现在人工目检的方式。